 :  
 


          .        :   ,   .

  [ ],               .           ,       .        ,   :   .





 

 :  



 





 :\n \n\n      1




 1. [  ]


  .

    ISO 1     .    .     HEPA-  ULPA-,             ,      .   ,  ,       ,          .

       ,  :       ,    ,    , -  .

    .

     .         ,  ,    .    ,  ,   ,      .          ,   ,          .

   ...   ,       .     ...    ...

        ,   ,    .   ,      ,       ,      ,           .

     :      ,        -  ,      ,     ,        ,      .

   .   .

     ,        .   -    ,  ,         .    ,     VT100:

[!       ]

[ :   -     : ]

[    :   (: F  )]

[  :  :   ( 1)]

[  :  -:  Ի ( : 193 )]

[: 8 | : 12 | : 28 |  : 45]

 .        ,  .    ,   :

 : 193 ? -  .     (DUV).  ,  ,  "-"  " "?

  ,     .             ,      .         : `[: 280 / 280]`.

 , ,     .   ,        .  ?       ? ...  ?

          .

! ! !

         .        ,  ,  ,    ,                .

  , !     !    ,   !  ,   !

   .    ,      .        ,        .

   - .

   -  ,     -     .      ,     .        ,         .     : , , -.      ,     .

        ,     .

       .      ,     ,    .               .    ,      .

  .        .

 !          .

     .       ,            .     ,      .    , , ,          .

  .

 ... . ,     .     ,       .    ,     ,         ,   -  .   ?  ?  ? ,     .                    ,    .

 , !     .

 .                ,                  .          ,           .

       ?   ?   ?

 ,    , .           .    .

     ,   ,   ,     .  ,          .   , ! ,          ,  .

              .

 ,    .    ,       ,       :

:  

:  

: F ()

:   /  

 .    , ,      ,  ,     - .

 ... ?     .  ---... ?      ?

  ,      ,      .        ,         .

  , ?  ?   ,       .       ,        !       .

 , ,      ,        .      .     ... !

 ,    .

 ?    ,       ?  ,  ?

     !   ,   .  ! ? , !    , !   !   !       ,      !

  ,       .    ,   ,   .

        ?! --!       ,     !

  ,  !   ,   .  , -,     ?  ?   ,     ?      ,               !    ,     !       ? ?            !

      ,   ,     .

  ?    .         ,    -,          ? ,             ,    ...

 , ,  ,  ,         .     .   ,       .       .           .           ,    .     !

    .              :

 , .    .   !  ,   !

  ,           .  ,      .                ,          7- .

          .

   ,     ,      .      :   ,  ,      ,        .

           .     ,      ,     .

    .

. .      ?

    :

`[ :  :   ( 1)  ]`

     .

  .          Olympus.

   : 10... 50... 200... 1000!

        ,   .           ,     ,   .

   .

  .    ,       .

 -         .  ,            ,        .

   ,   !

                       .    ,    .     .   ,   - !          !

...   ,     .   ,       ...     ,   !  ...    -!   - ,           !

      ,  -      .      .      .    , ,     ,   .

      ,     ,   .  ,    ,      .          !

     .       ,    .   ,     -     .      - ,   ,    ,     .

   .

`[  :  -:  Ի ( : 193 )]`

   .    .

 ,    ,  ,     .        -           ,    ,    .

     .

 - ,      ,      .

     .           193        ,        .       .

 , ,  !

  ,       ,    ,    - .

[ :  -:  Ի]

[ : 1.2 /? ()]

[ : 2 /]

[ :  (: 15 )]

[   : 0.28  (280 )]

  !       .    ,     !          !         !

      ,   .     .      .        193      6.4 .     ,        ,     !  .  !

     .   .    .

        ,         .

      ,    ,    .       ?   ,       .    .     ,   . ,  ""      ,            .

    -             .      ,    .

        ...       ,        .       !     ,       !      ,          ?    ,          - ?!

 ,     .

       ,   ,       -,      ,        !

     .  .    .

    .         ,   ,       .     ,     .    . , ,     .

    - ,   .  ,       ,      .

    ,   .

      .

 ,    ,    1500   ,  .   ,   ,    .

  : -  ,   .   .

  .      .

...

 ,  .   ,   ,      .          ,      .

  .  ,        45,          .         ,        .

       ,       .      33 ,          .           :  ! ,    - !

    .   .

  :    .

        ,         ,    .          .

        .

 ,          .       .    .  -       -...

   -.

        .       .     .

            .         ,   .

          -,      !    ,      Pentium,          .

     :

`[: 210... 160... 90... 40...]`

     .   .    ,      .   ,           ,       .

 ...  ,    ,      .      ...   -  ...

  `[: 14 / 280]`      .

 .

       ,    .       ,             ,   .

 ...   .

  ,               ,    .

    ,        ,  -,   .   :   .       ,   ,        !

   ...

    .      ,    .       .   .    .     ,    .

     .

       -,    -,     !

  !              ,           !

   :

[!     !]

[ :   ( )]

[ :   ()]

[  : 94.7% (     : 12-18%)]

[:  .           40 ,        ]

[    80        ]

[  : +450 XP!]

[  !  : 2]

[ 5  .     ]

  ,  .

      !

 ,      ,          ,          ,   -     !

   ,    . ,  ,      ,   .

     .                     .

   ,    .

    ,        .   .        ,       .

   ,    .    :     ,       ,        !

    ,          -.

,      ,  ,      - .     ,   ,        ,      .    ,        ,  .

   .   -,     .

     ,    .

         , ,  ,      .           .

      ,       -     .

   . ...  .       .     .




 2. [    ]


    -    ,       .        ,     ,              .

     ,        .           ,               .

    .    ,    .    ,      ,             .

: 8. : 9,    ,   .

               ,     .           :        ,    ,     ,     .      ()      . .  . ,     .

     . ,          ,                   ,       .

        .

   ,           .     ,      ,   ,     .    ,   ,    ,    .

   .      ,   ,   -   .       :           .

    ,        .

 . ,         .  , ,        .        ,        ,   ,        .

      ,  ,       .

-      -     ,           .     .     .   ,        .

 ,    , ,       .       .

***

          .         ,   ,      .

                      .

        .       ,   ,     .     ,      , .

     ,        ,           ,     ,     .   , ,   ,     .

      .

 .   ,         .   .

    ,     ,  ,      ,      :

     .             .   .

  .       ,     ,    .

         .            -.   ,                   . , -     ,  ,       .

 ,  .

         .          .

        ,    ,       ,     .       . .        -  .   .

   .          ,     .    ,     ,      ,     .

   .

     .             ,       .

   ,  ,           .          ,         .         ,   ,  .

   ,    ,    .

    . ,     ,         .

    ,     ,       .

    .

***

         -       .       :     ,   ,      ,           .

  . ,  .

             .                          .        ,      .      , ,          .

    .        .

   .  ,       ,        .

  .        ,      .

 .   ,     .

         .     : ,   ,  ,            .        .

     .       ,     .       ,        ,     ,     .

    .   .

   ,        .        .      . ,   ,    ,     ,    .

 .  :   .

    ,  .         .

    .   ,         .    ,   :  ... ... ...

      .

,    . ,      ,     .       ,       .

         .              .    .

  .

    .              ,           .

  .      ,      ,     . ,    , ,            .

        .

   ,        ,     .

  :  1,5 .

     .       .            .

:   . :    .  :    .

           ,    .      , ,    ,     .

.

      .    ,     .      ,     ,       ,         .

  .     .

*--...*

   ,  .   ,  ,      .

         ,        .   ,     ,    ,         .

            .

    .

   1,5 .     0,8 ,      .

    .   .     ,    ,       .        ,     .

 :  ,       ,            .      .

 .    0,12 .     .

  ,      .    .      : 18... 15... 12...

    ,  .        ,               ,      .

   .

             .     ,   .       ,   ,      .     X-Y    ,      .

 . . .

    ,      .     .        ,         .

     ,     .       ,             ,                       .

 . . .

       ,          .     ,   ,     .

: 4 .  .      .  !

       ,    ,  .              ,     .     ,         ,      .

   ...

   ...

 !

    ,            .

 .

        .               ,         ,        .        .    ,  .

    ,     -,    .

        ,          ,        .

[ :      (-0)]

[:  |  : 120 /?]

[:     94%,   ]

[     :  98.7% (  : 14%)]

[ : 1 -> 3.  +4 , +6  ]

 ,            ,    .

       ...   ,    ,    ,  .          ,  ,         .  .    .

      .  !

     .     ,   ;      ,  .   ,    .

           ,       ,       ,  .            :            .       .

        .

  -  ,            ,   .   ,      ,      .

           ,      .

   .      .

  ,        ,     .

.

      .   ,     .     ,        .

     .                ,       ,        .

        ,  ,     .

     ,                 .

     .

  ,         ,    .   ,  ,               .  -             .

 ,       .

,          ,       .         ,         . -           ,  ,          ,       .

    .       .

     ,    ,         ,    ,  -.

      .    .    ,  ,        .

 ,  ,    ,      .   ,  ,    .

              ,    .

     .      .         ,           .

            .

     .    ,        .




 3. [  ]


  ,     ,    ,      . ,     ,        ,       ,     .  ,  -,       ,      .

     .

   ,    ,   .   ,     ,    . ,   ,    :     , ,        .   ,      ,    ,        .

   ,         ,      .

      . ,   ,        ,    ,   .      .        ,                .

           .

      . ,     ,     .         ,    -   .     :       , -    ,    ,   ,  ,  .

    ,  .  ,          .                  ,     .       ,         ,    .

               .

     .                ,           ,    .         ,  .

  ,   ,       ,   .  :    ,      ,       ,       .

        ,    ,  , ,    .

     ,    .                 .

  .

  ,           ,       .    :  ,     ,      .

 ,       ,   .   ,         ,    .   ,  -     ,              .

  ,       ,        .      ,   ,  ,        .              .

 , ,   ,            .   ,            .       ,      .

  .    ,  ,  .

     , .   .   ,        .

 .     ,     ,  ,     ,  .     ,  .

  ? ?   ,  ,     .     , ?   ? , ,     ?     ?       ?

 ,    .

    ,   ,   ,       .

          .

     .      ,    .   ,   ,     .

      .                ,    ,    .        ,    , ,    .     .              .

           .      ,      ,     .      :     ,       ;        ,   .

  .     ,     .

 ...     , ?       .      .       ?    ?    ?    ,        ,        ,   !

      ,          .     ,  .

   ,   ,     .      ,  .     ,    ,             .      ,         .

     ,       .    , ,          .

      ,  ,      .     .

   ,  .     , ,   .

   .     .

 ...  ?     .    .             ,     !       ,    ,     !

     ,    ,  ,    ,  .       .       ,     ,        .       .    .

 .   ,   ,       ,        .        ,      .

  , ?      .    ,    .   , .           .

            ,        .

 , !  ,         . ,      .

  ,    .         ,     ,      .  ,          ,   .             .

   .

 .     .    .                   .  :  ,      ,       ,     .            ,      ,      .

   ,   ,   .     ,  .   .    .          .    ,           .

  :

 .   .   .    .        ,    ,             .

 ,  ,  .    ,    ,    .          ,    .

    ,       .

  ,    .        .   .

    ,    ,    .              .          .             .                     .

  , !   .

       .       ,     .        ,      .        ,         .      ,        ,       .

  .

    ,   ,   .   ,     -       .

     .

  ,    ,        ,      .

    .

   .  .       .

        .            ,    .     ,          ,      .

     ,    ,       ,   , ,         .

      ,  ,          ,   .

 .

   ,  .

    ,     ,          ,   .    ,  ,       .    . .     .

 ...  ?..    ,    .

          .

      ,    .

        ,        .    .   ,     ,     .    ,            .            ,   .

       ,   ,   ,               .

       ,       .     ,   , ,       .

  .

        ,   ,      .       ,     .  ,   .

 ,     ,   .       ,          .

 ...   ...   ,       .  ...  ?   ?   ?

   ,     . ,       .

.

   .       ,         .    , , ,   .

      .        ,       .   ,    ,      .

  ,               ,      .

 ,      ,    .

     .                      ,     .

            .

   , ,       ,  .      .

  .  ,      ,   -. ,             .

      ,      .

 ,        .     ...      ?   !   !      .                , ,    !     ...  ,   !

       .      ,       ,      , ,     !  . ,    ,                .

          .

    ?   ,             ?         .

 ...   , ?    ,  ,  ,     .    .    .     .     ...     !      !   !

    .           .

     , .   .      ,     .  . .

  ,  .     .       ,     ,        ,  .   ,       :  ,  ,      ,     ,    .      .

  ,    :        .  ,  .      ,    .

 -... . !   ,    .

   .          ,          .

 -.              .

. . . ... .

    ,   .

 !    !  ,  ,  !   ,      .  , .  ! ...       - ...  ,  ...  !      !  !

  .      ,            . ,       .

      .

  ,    .  ,   .

 , !      ,      ,    ,        ,   .    -, ?!   ,     ?!

     ,        .

   .

  ,      ,     .

 .

  ,     .       .   ,  ,    ,    .    ,   ;    ,  ,    .

            ,            .     ,   .        ,             ,    ,     .

 ,             -   ,       ,              .

   ,   .         .

        ,    ,   .        ,   :

[      ]

[  :    (+10)]

[      2:    ]

[   :    ]

[ :        ]

      . ,      .

  , ...    ,    .    .        -     .      .

   .

   .    ,       .                  .

       ,      .

     .

    .   . , ,   ...  ,     .     .      .

   ,        .  ,      ,    .

  ,   ,      .  ,    ,    .          .   .  -             ,  ,     , ,   ,     .

, ,  ,          .        .

  , ?       .     .    .    ,        .

  .

                ,   ,      .       .      .

        ,       -.

:             .           .                    .

:     .  ,   ,       .      .     ,   ;       .

:  .       ,         ,    . ,                .

   ,     ,       ,         .

      ,          .

    . ,             ,   ,           .

           -.




 4. [ ISO   ]


    -     :             .    .        ,    ,      .

  ,     .       -         ,        .          .        ,        ,     .

     :    ,     ,       ,     .

    .

    .      .            , ,    .   ,   ,        .  ,           ,        ,           .

   . , ,   .

       ,        .    ,                 .                  ,      .

  , ,  ,   ,    .   .        .  ,    .  :     ,    .         .

   ,  ,    ,    .   .

   .    ,  .

    ,         .

        .  , .       ,        .      ,  - ,    .   , ,      .

,    .         .      .       .   .

   ,          .

     .            .

      .    ,       ,      ,    .        ,    :     ,           ,               .

    , ?   ,   -  .      ?

      .     .  ,    .   ,    .

  ?   .   ,    ,   ...  , .

     .    .         .       ,          .

 ,    ,      .   : , ,    .

    .     .

     (   )         .    .       .        .          ,         ,  ,        .

          . ,   ,   ,           ,        .

 .     .                 ,      .         :   ,    ,    .         ,     ,             .

      .        ,    ,       .

   ,       .

      .          ,          .       ,             .

 , !     ,    ,    .   - !      ?   ?     ?

    .   ,    ,   ,     .

     ,  .     .

      .

       ,        .       , HEPA-         .       ,     ,       ,         .

    ,    ,     .     ,       .    ,      .

  ,      ,   ,       .    ,  ,     .   ,    ,    .     ,     .

     .

 ,      ,       .    ,     ,    .        ,  ,         .

  ,   - .       ,     ,     .       ,    ,    .

  .

               ,  ,      .    ,   , ,  , .                .

          ,        .

 ... -,  !      .

     .          ,       ,    .

 ,  ,    ?   !         !

  ,       . ,       ,     ,         ,    .    ,    .

     .

        .   .    ,   ,        .

    ISO 7 (  10 000    US FED STD 209E):       1015  ,  .           ,      .

    .          .

         .  ,     .

       ,         . ,          .

               .

      ,     .    .     ** (),         ** (),   .       ** (),   .

     .

        ** (),      **.             ,        .

    :

1.   :    ,    (   50 ).

2.  :    ,         (  ,   ).

3.  :   ,     .

4.  :    **,                   .

         .

       .

  .

       .     ,    ,     .  ,  .    , , ,      ,  ,      .

     ,   .  ,    .

   .

     ,    ,         .           .           .

    .

.

         .   ,  ,    ,   .            -        .

    ,           .

       .     ,      .  :  ,   ; ,    ;       .    ,  ,           .

            ,         .             ,      ,  .

    ,   .

     ,    ,         .  ,     ,   ,      ,       .

    ,    ,      .

             : ,     ,     ,     .

       .   ,  ,    ,    .

      :

[ :    10 000]

[ :       85%]

[  :    ( 1)]

[  : CAD-   ( )]

 .

   -  ,    .        ,       .

  CAD. ,    ,        .

                .   X, Y, Z    .        : ,  ,  ,   ,        .

,   ,     .      ...      .     .

        .             .        . -           ,                    .     ,    .

    ,            .

       .    ,   .

  .

      (MOSFET),            .

           .       ,    ,   ,              !

 .   , ,    .

.      ,                .

     .     .  .

     ,                   .     .

        :   ,    .

    .

  ,   ,  ,          .     ,        ,    ,       .

  .

     . .  .   :  ,  ,  ...    ,   .

        .          .   ,     . ,              .

 ,    .   :  .

       ,     ,    .     :          **    ,    .     ,     .

            ,           **.

        .

 ,       .         ,  ,      .              .

.        .

         ,            .

  ,    .

`[CAD-  :  -01]`

      .

   -   .     .    .          ( FinFET,     ).

          ** (),     ,      .

       .  - .          ,    **      ,      .

   .      ,   .

     ,        .          ,      .

.

  .

  .  ,    - .

    . .

         .              .

             :  ,    .           .

        .  .

 ,       .

      ,     **.  ,  -     .

    .     ,      . ,     ,   .

 .

 .     ,        .

              .

 ,  .             .

       .   ,    .     :        ,      .

`[  : 99.4%]`

`[  :   ]`

 ,   .      ,  .  .        .

  .

       ,   .      .

 `[   ( 1)]`,   ,     .    ,     ,        ,      .

    . ,         ,    .          .

           ,         .

       .

            ,    :

 .  Z.    . -   .

     ,    .                ,    .

      ,     .     ,  ,               .

`[ : 30%... 60%... 90%...]`

`[   : 1.48 ]`

`[ ]`

             .   .          ,    .

      .

 .  .

,    ,    .

         .    ,    .        .  ,     ,     .

    .

    .        .

  .  ,   ,   ,     ,   .

    , .

,  ,       ,      ,         .     .    ,      .

   ,         ,     .

         .

    ,           CAD-.

  ,        .      .   - .




 5. [ -1]


     .   - ,       .

           .  ,     ,  .             -        .

 .         0.05 ,    .

        .        :

`[   #001:   ]`

`[  : 0.012 . ]`

`[  -: 4.82 ./]`

`[  : 0.0003% (  )]`

`[ : 1.4 ]`

`[:    ]`

    ,    ,  .

 ...   ,        .        ,          .     ,      .       .

  .   .    .    ,         ,     .

   :              ,     .

      .     .    .

   ,      ,  .     ,        ,  .

  . , ,    ,       ,        .

          ,   .

      .           10    15,     .                .

       ,          ,      .             ,    .          :         , ,                 .

  ...      ,    .   .       ,   .

   :    ().          .

  ,      .      **  ,  ** .    .

        .

     -  .         ,       ,    .

            .  , ,   .   ,       .          .     ,          .

      :    ,    ,             .

 ,   ,      .   .          .

                     .  ,        .              .

          .

  ,          .          ,                         .

   ,      .

         CAD/EDA-.                      .

       .

  -1,     .    .

    .      .     ,            .

    FinFET  3D NAND,     .

   ,    ,   -.              .            ,   .

      15 420 -    .

      ,  ,       ,          ,    .

    ,       :      .

 -         ,    .                        ,        .

    .     Z:   .   ,    .

     -.

,                .       .

 ,      .

`[  : 140/140]`

`[  : 0.8 ./]`

`[  :   ]`

  .         .

              .       ,     -  .

       ,             .

 .   .

       ,    . -         ,       .     ,     .

 .    .

   ,        .   ,      ,      .  ,           -       .

`[ : 92/140...]`

`[  : 12.4 ]`

`[   ]`

 .    FinFET.

       .     .      :        ,      .

    ,      .      - ,   .

    ,    .   ,  ,       ,      ,   .

`[ : 45/140...]`

`[!    ]`

`[  :   ]`

  .   ,     ,     .          ,        ,      .

     ,     .

 !    .

 .   .

-     .      .           ,        ,        ,    .

  .  .

  .     -     .

       .     ,    .

    ,         .

   ,  ,   ,         .

  ,           ,     .          .

     .      .

    ,               .      ,    , ,         -  .

    Bosch-        ,            .




  .


   .

   ,     (https://www.litres.ru/book/neyton-patcher/runnyi-kuznets-gravirovka-khaosa-74504648/)  .

      Visa, MasterCard, Maestro,    ,   ,     ,  PayPal, WebMoney, ., QIWI ,       .


