Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Издательство:
Автор
Метки:
книги для студентов и аспирантов,математическое и компьютерное моделирование,микроэлектроника,полупроводники,микросхемыЖанры:
учебная и научная литература,техническая литература,учебно-методические пособия,технические науки,электроника,книги для студентов и аспирантов,микроэлектроника,математическое и компьютерное моделирование,полупроводники,знания и навыки,микросхемы
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.