Владимир Петрович Астахов
Жанры и тэги:
- 0
- 0
- 0
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов …
Подробнее
- 0
- 0
- 0
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распре…
Подробнее
- 0
- 0
- 0
Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление…
Подробнее