Ю. С. Боброва

Жанры и тэги:

знания и навыки учебная и научная литература учебники и пособия для вузов технические науки естественные науки

Посмотреть все

10.12.2023

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии …

Подробнее