Юрий Борисович Цветков

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. …

Показаны роль и значимость учебников и учебных пособий в структуре учебно-методического обеспечения инженерного образования. Рассмотрены основные этап…