Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Издательство:
Автор
Метки:
Магнетрон,Физика плазмы,Конструирование оборудования,Книги для студентов и аспирантов,Инженерно-техническая деятельностьЖанры:
учебная и научная литература,техническая литература,учебники и пособия для вузов,технические науки,эксплуатация промышленного оборудования,книги для студентов и аспирантов,конструирование оборудования,физика плазмы,инженерно-техническая деятельность,магнетрон,знания и навыки
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.