Введение в современную микро- и наносистемную технику
Издательство:
Автор
Метки:
схемотехника,электронные компоненты,микроэлектроника,электронная аппаратура,полупроводники,электронные схемы,микросхемы,цифровая электроникаЖанры:
учебная и научная литература,учебники и пособия для вузов,технические науки,приборостроение,радиотехника,электроника,знания и навыкиРаскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники.
Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
