Игорь Леонидович Житяев
Жанры и тэги:
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое обо…
Подробнее
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремние…
Подробнее