Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Автор:

Светлана Козубняк

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

000

ОтложитьЧитал

Аннотация
Обложки

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

В нашей электронной библиотеке вы можете скачать книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» автора в формате epub, fb2, rtf, mobi, pdf себе на телефон, андроид, айфон, айпад, а так же читать онлайн и без регистрации. Ниже вы можете оставить отзыв о прочитанной или интересующей вас книге.