Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Издательство:
Автор
Жанры:
учебная и научная литература,учебники и пособия для вузов,технические науки,приборостроение,электроника,учебное пособие для студентов,нанотехнологии,конструирование оборудования,микроэлектроника,микромеханика,знания и навыки,микросистемная техника
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».