Аскер Русланович Кушхов
Жанры и тэги:
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ион…
Подробнее
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффект…
Подробнее
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии э…
Подробнее
Ионно-плазменная обработка материалов
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления …
Подробнее
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энерг…
Подробнее