Главная
Авторы
Наталья Владимировна Макушина

Наталья Владимировна Макушина

Жанры и тэги:

знания и навыки учебная и научная литература учебники и пособия для вузов технические науки техническая литература

Посмотреть все

09.12.2023

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаме…

Подробнее