Методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Физические основы микроэлектроники»

Представлены лабораторные работы, посвященные исследованию характеристик полупроводниковых материалов, элементов на основе p−n-переходов, тонкопленочных резисторов, а также характеристик интегральных схем. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по специальности «Конструирование и технология электронных средств»