Юрий Васильевич Панфилов
Жанры и тэги:
Формирование функциональных слоев
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых из…
Подробнее
Элионные процессы и нанотехнологии
Методические материалы содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лаборат…
Подробнее