Ю. А. Родионов
Жанры и тэги:
Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основно…
ПодробнееХимические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основно…
Подробнее