Название книги:

Физические основы вакуумной техники

Автор:
Александр Василевский
Физические основы вакуумной техники

000

ОтложитьЧитал

Cкачать книгу бесплатно :

Cкачать pdf
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.

Издательство:
Новосибирский государственный технический университет