bannerbanner
logo

Владислав Юрьевич Васильев

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
0
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена сов…
Подробнее
Современное производство изделий микроэлектроники
0
В учебном пособии рассмотрена совокупность вопросов, связанных с организацией современной микроэлектронной отрасли и производства интегральных микросх…
Подробнее
Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
0
Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в техн…
Подробнее
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
0
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщ…
Подробнее
Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов
0
В книге представлена совокупность информации о процессах химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ) неорганических тонкопленочных покрытий (ТП), явл…
Подробнее
Вход В личный кабинетРегистрация