Вакуумные системы

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения д... Подробнее

В книге рассматриваются методы расчета сложных вакуумных систем. Под сложной вакуумной системой понимается система, состоящая хотя бы из двух простых элементов. Книга утверждена на научно-техническом ... Подробнее

Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхно... Подробнее

Лабораторный практикум выполняется по курсу «Вакуумная техника». В нем рассматриваются методики определения параметров работы форвакуумных насосов, их устройство и режимы их эксплуатации. Описаны устр... Подробнее

В курсе лекций изложены основные особенности расчета и проектирования вакуумных систем технологического оборудования, применяемого для получения металлических, полупроводниковых и композиционных матер... Подробнее

Описаны основные методы и приборы измерения общих и парциальных давлений в вакуумных системах, методы градуировки вакуумметрической аппаратуры, приведен обзор отечественных приборов. Для студентов ста... Подробнее