Ю. С. Боброва
Жанры и тэги:
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии …
Подробнее