Дмитрий Владимирович Духопельников
Жанры и тэги:
Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности …
Подробнее