Наталья Владимировна Макушина
Жанры и тэги:
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаме…
Подробнее