Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии
Издательство:
Автор
Метки:
технологические процессы,учебно-методический комплекс,инженерно-техническая деятельность,нанотехнологииЖанры:
учебная и научная литература,техническая литература,учебно-методические пособия,технические науки,нанотехнологии,технологические процессы,учебно-методический комплекс,инженерно-техническая деятельность,знания и навыки
Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
